4-(4-叔丁基苯基)-1,4-氧硫杂环己烷-4-鎓 1,1-二氟-2-氧代-2-[((5',5',6',6'-四氟螺[金刚烷-2,2'-[1,3]二氧杂环庚烷]-5-基)氧基]乙烷-1-磺酸盐
CAS 1371590-55-4
先进光刻胶里，连反离子都需要专门设计。PAG554 说明：控制酸扩散，有时与产生酸本身同样重要。
PAG554（CAS 1371590-55-4）展示了光酸发生剂设计已经精细到什么程度：氧硫杂环己烷鎓阳离子与大体积含氟螺环金刚烷磺酸阴离子配对。化学放大型光刻胶中，“产生强酸”只是问题的一半，还必须控制酸在膜中的移动。进入纳米尺度后，反离子的结构也会影响扩散、相容性和图形模糊。
发布日期：
2026-09-17
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